Pole SCS - Solution Communicantes Sécurisées
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ALDIP
Activation Laser de Dopants implantés par Immersion Plasma
 
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Activation sans dégradation thermique du substrat, Activation très haute température pour matériaux fort gap, Activation sans diffusion pour microélectronique avancée
 
 
Porteurs
Ion Beam Services
 
 
Entreprises
R2D Ingénierie, IBS, MGP Instruments, Metraware
 
 
Recherche / Académie
LP3, GREMI
 
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