Pole SCS - Solution Communicantes Sécurisées
 
 
ALDIP
Activation Laser de Dopants implantés par Immersion Plasma
 
Le contexte
Activation sans dégradation thermique du substrat, Activation très haute température pour matériaux fort gap, Activation sans diffusion pour microélectronique avancée
 
 
Porteurs
Ion Beam Services
 
 
Entreprises
R2D Ingénierie, IBS, MGP Instruments, Metraware
 
 
Recherche / Académie
LP3, GREMI
 
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