Pole SCS - ALDIP

ALDIP

Activation Laser de Dopants implantés par Immersion Plasma

Le contexte

Activation sans dégradation thermique du substrat, Activation très haute température pour matériaux fort gap, Activation sans diffusion pour microélectronique avancée

Porteurs

Ion Beam Services

Entreprises

R2D Ingénierie, IBS, MGP Instruments, Metraware

Recherche / Académie

LP3, GREMI