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SUPER SWITCH

Conception de nouveaux interrupteurs de puissance haute tension à SuperJonction

L’objectif du projet est de concevoir les interrupteurs de puissance du futur (diodes et MOS à Superjonction), haute tension, fort courant, haute fréquence, faibles pertes et bas coût, en se basant sur les compétences complémentaires des laboratoires LAAS-CNRS, LMP et IMS et de la société IBS. Les étapes critiques du procédé seront étudiées : gravure profonde, dopage le long des tranchées et remplissage de celles-ci avec un diélectrique approprié. L’influence des ces étapes sur les performances électriques et thermiques sera également étudiée. Les simulations « process » permettront de définir le procédé optimal de fabrication de ces composants. Enfin, des DT-SJDIodes, DT-SJMOSFETs et DT2 seront fabriqués puis caractérisés en termes de performances (électriques, thermiques) et de robustesse.