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Ortofib’

Orthogonal Tof FIB

L’objectif du projet ORTOFIB est de développer une station de travail FIB (Focused Ion Beam – faisceau d’ions focalisés) capable d’analyser «in-situ», en temps réel, par nano-analyse ionique secondaire (SIMS) les régions  pulvérisées. Le faisceau primaire FIB pourra être réduit jusqu’à 3nm, ce qui repoussera à la fois la résolution latérale de la FIB à un record mondial, et la résolution du mode SIMS à ses limites théoriques. L’idée est d’intégrer un spectromètre de masse de manière extrêmement compacte, à une colonne FIB à très haute résolution.
L’association sera effectuée de façon à privilégier le rendement de collection des ions secondaires pulvérisés sans dégrader notablement les performances initiales de la colonne FIB.
Ce projet se déroulera en trois temps : conception de la colonne ORTOFIB et d’un spectromètre à temps de vol (TOF) orthogonal, conception de la station complète à faisceau d’ions focalisé analytique, développement d’un portfolio d’applications par les partenaires utilisateurs.

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